خبر

هيرن جي تار ڪٽڻ واري ٽيڪنالاجي کي ڪنسوليڊنگ ابريسيو ڪٽڻ واري ٽيڪنالاجي پڻ چيو ويندو آهي. اهو اسٽيل جي تار جي مٿاڇري تي ڪنسوليڊنگ ٿيل هيرن جي ابريسيو جي اليڪٽروپليٽنگ يا رال بانڊنگ جو طريقو آهي، هيرن جي تار سڌو سنئون سلڪون راڊ يا سلڪون انگوٽ جي مٿاڇري تي ڪم ڪندي پيسڻ پيدا ڪرڻ لاءِ، ڪٽڻ جو اثر حاصل ڪرڻ لاءِ. هيرن جي تار ڪٽڻ ۾ تيز ڪٽڻ جي رفتار، اعليٰ ڪٽڻ جي درستگي ۽ گهٽ مواد جي نقصان جون خاصيتون آهن.

هن وقت، سنگل ڪرسٽل مارڪيٽ ۾ ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ سلڪون ويفر کي مڪمل طور تي قبول ڪيو ويو آهي، پر ان کي پروموشن جي عمل ۾ پڻ منهن ڏيڻو پيو آهي، جن مان مخمل اڇو سڀ کان عام مسئلو آهي. ان کي نظر ۾ رکندي، هي پيپر ان ڳالهه تي ڌيان ڏئي ٿو ته ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ مونوڪريسٽل لائن سلڪون ويفر مخمل اڇو مسئلو ڪيئن روڪيو وڃي.

ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ مونو ڪرسٽل لائن سلڪون ويفر جي صفائي جو عمل وائر آرا مشين ٽول ذريعي ڪٽيل سلڪون ويفر کي رال پليٽ مان ڪڍڻ، رٻڙ جي پٽي کي هٽائڻ، ۽ سلڪون ويفر کي صاف ڪرڻ آهي. صفائي جو سامان بنيادي طور تي هڪ پري-ڪليننگ مشين (ڊيگمنگ مشين) ۽ هڪ صفائي مشين آهي. پري-ڪليننگ مشين جو مکيه صفائي جو عمل آهي: فيڊنگ-اسپري-اسپري-الٽراسونڪ صفائي-ڊيگمنگ-صاف پاڻي ڌوئڻ-گهٽ کارائڻ. صفائي جي مشين جو مکيه صفائي جو عمل آهي: فيڊنگ-خالص پاڻي ڌوئڻ-خالص پاڻي ڌوئڻ-الڪلي ڌوئڻ-خالص پاڻي ڌوئڻ-خالص پاڻي ڌوئڻ-پري-ڊيهائيڊريشن (سست کڻڻ) -خشڪائڻ-کاڌ خوراڪ.

سنگل ڪرسٽل مخمل ٺاهڻ جو اصول

مونوڪريسٽل لائن سلڪون ويفر مونوڪريسٽل لائن سلڪون ويفر جي اينيسوٽروپڪ سنکنرن جي خاصيت آهي. رد عمل جو اصول هيٺ ڏنل ڪيميائي رد عمل مساوات آهي:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

بنيادي طور تي، سابر ٺهڻ جو عمل هي آهي: مختلف ڪرسٽل مٿاڇري جي مختلف سنکنرن جي شرح لاءِ NaOH محلول، (100) مٿاڇري جي سنکنرن جي رفتار (111) کان، تنهن ڪري (100) اينيسوٽروپڪ سنکنرن کان پوءِ مونوڪريسٽل لائن سلڪون ويفر تائين، آخرڪار (111) چار رخا مخروط لاءِ مٿاڇري تي ٺهيل، يعني "پرامڊ" جوڙجڪ (جيئن شڪل 1 ۾ ڏيکاريل آهي). جوڙجڪ ٺهڻ کان پوءِ، جڏهن روشني هڪ خاص زاويه تي پرامڊ جي ڍانچي سان واقع ٿيندي آهي، ته روشني ٻئي زاويه تي ڍانچي ڏانهن عڪاسي ٿيندي، هڪ ثانوي يا وڌيڪ جذب ٺاهيندي، اهڙي طرح سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي عڪاسي کي گهٽائيندي، يعني، روشني جا ڦڙا اثر (شڪل 2 ڏسو). "پرامڊ" جي جوڙجڪ جي سائيز ۽ هڪجهڙائي جيترو بهتر هوندي، اوترو ئي ٽريپ اثر وڌيڪ واضح هوندو، ۽ سلڪون ويفر جي مٿاڇري جي اخراج جي شرح گهٽ هوندي.

شڪل 1: الڪلي جي پيداوار کان پوءِ مونو ڪرسٽل لائن سلڪون ويفر جي مائڪرومورفولوجي

شڪل 2: "اهرام" جي جوڙجڪ جو روشني جال جو اصول

سنگل ڪرسٽل وائيٽنگ جو تجزيو

سفيد سلڪون ويفر تي اليڪٽران مائڪروسڪوپ اسڪين ڪرڻ سان، اهو معلوم ٿيو ته علائقي ۾ سفيد ويفر جو پرامڊ مائڪرو اسٽرڪچر بنيادي طور تي ٺهيل نه هو، ۽ مٿاڇري تي "مومي" باقيات جي هڪ پرت نظر اچي رهي هئي، جڏهن ته ساڳئي سلڪون ويفر جي اڇي علائقي ۾ سابر جي پرامڊ جي جوڙجڪ بهتر طور تي ٺهيل هئي (شڪل 3 ڏسو). جيڪڏهن مونو ڪرسٽل لائن سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي باقيات آهن، ته مٿاڇري تي باقيات وارو علائقو "پرامڊ" جي جوڙجڪ جي سائيز ۽ هڪجهڙائي پيدا ڪرڻ ۽ عام علائقي جو اثر ڪافي نه هوندو، جنهن جي نتيجي ۾ هڪ باقيات وارو مخملي مٿاڇري جي عڪاسي عام علائقي کان وڌيڪ هوندي، بصري عڪاسي ۾ عام علائقي جي مقابلي ۾ وڌيڪ عڪاسي وارو علائقو اڇو طور تي. جيئن اڇي علائقي جي ورڇ جي شڪل مان ڏسي سگهجي ٿو، اهو وڏي علائقي ۾ باقاعده يا باقاعده شڪل نه آهي، پر صرف مقامي علائقن ۾. اهو هجڻ گهرجي ته سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي مقامي آلودگي صاف نه ڪئي وئي آهي، يا سلڪون ويفر جي مٿاڇري جي صورتحال ثانوي آلودگي جي ڪري آهي.

شڪل 3: مخملي سفيد سلڪون ويفرز ۾ علائقائي مائڪرو اسٽرڪچر فرقن جو مقابلو

هيرن جي تار ڪٽڻ واري سلڪون ويفر جي مٿاڇري وڌيڪ هموار آهي ۽ نقصان ننڍو آهي (جيئن شڪل 4 ۾ ڏيکاريل آهي). مارٽر سلڪون ويفر جي مقابلي ۾، الڪلي ۽ هيرن جي تار ڪٽڻ واري سلڪون ويفر جي مٿاڇري جي رد عمل جي رفتار مارٽر ڪٽڻ واري مونوڪريسٽل لائن سلڪون ويفر جي ڀيٽ ۾ سست آهي، تنهنڪري مخمل اثر تي مٿاڇري جي باقيات جو اثر وڌيڪ واضح آهي.

شڪل 4: (الف) مارٽر ڪٽ سلڪون ويفر جو مٿاڇري مائڪروگراف (ب) هيرن جي تار ڪٽ سلڪون ويفر جو مٿاڇري مائڪروگراف

هيرن جي تار سان ڪٽيل سلڪون ويفر جي مٿاڇري جو مکيه بقايا ذريعو

(1) ڪولنٽ: هيرن جي تار ڪٽڻ واري ڪولنٽ جا مکيه جزا سرفيڪٽنٽ، ڊسپرسنٽ، ڊيفيمجنٽ ۽ پاڻي ۽ ٻيا جزا آهن. بهترين ڪارڪردگي سان ڪٽڻ واري مائع ۾ سٺي سسپنشن، ڊسپريشن ۽ آسان صفائي جي صلاحيت آهي. سرفيڪٽنٽ ۾ عام طور تي بهتر هائيڊروفيلڪ خاصيتون هونديون آهن، جيڪي سلڪون ويفر جي صفائي جي عمل ۾ صاف ڪرڻ آسان آهن. پاڻي ۾ انهن اضافو جي مسلسل حرڪت ۽ گردش وڏي تعداد ۾ فوم پيدا ڪندي، جنهن جي نتيجي ۾ ڪولنٽ جي وهڪري ۾ گهٽتائي ايندي، ٿڌي ڪارڪردگي متاثر ٿيندي، ۽ سنگين فوم ۽ حتي فوم اوور فلو مسئلا، جيڪي استعمال کي سنجيده متاثر ڪندا. تنهن ڪري، ڪولنٽ عام طور تي ڊيفومنگ ايجنٽ سان استعمال ڪيو ويندو آهي. ڊيفومنگ ڪارڪردگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ، روايتي سلڪون ۽ پوليٿر عام طور تي خراب هائيڊروفيلڪ هوندا آهن. پاڻي ۾ محلول جذب ڪرڻ تمام آسان آهي ۽ بعد ۾ صفائي ۾ سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي رهي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ اڇي داغ جو مسئلو پيدا ٿيندو. ۽ ڪولنٽ جي مکيه حصن سان چڱي طرح مطابقت نه رکي ٿو، تنهن ڪري، ان کي ٻن حصن ۾ ٺاهيو وڃي، مکيه جزا ۽ ڊي فومنگ ايجنٽ پاڻي ۾ شامل ڪيا ويا، استعمال جي عمل ۾، فوم جي صورتحال جي مطابق، اينٽي فوم ايجنٽ جي استعمال ۽ دوز کي مقداري طور تي ڪنٽرول ڪرڻ جي قابل نه هجڻ، اينومنگ ايجنٽ جي اوور ڊوز کي آساني سان اجازت ڏئي سگهي ٿو، سلڪون ويفر جي مٿاڇري جي باقيات ۾ واڌ جو سبب بڻجندو آهي، اهو هلائڻ ۾ پڻ وڌيڪ تڪليف ڏيندڙ آهي، جڏهن ته، خام مال ۽ ڊي فومنگ ايجنٽ جي خام مال جي گهٽ قيمت جي ڪري، تنهن ڪري، گهڻا گهريلو ڪولنٽ سڀ هن فارمولا سسٽم کي استعمال ڪندا آهن؛ ٻيو ڪولنٽ هڪ نئون ڊي فومنگ ايجنٽ استعمال ڪندو آهي، مکيه اجزاء سان چڱي طرح مطابقت رکي سگهي ٿو، ڪو به اضافو نه، ان جي مقدار کي مؤثر ۽ مقداري طور تي ڪنٽرول ڪري سگهي ٿو، مؤثر طريقي سان وڌيڪ استعمال کي روڪي سگهي ٿو، مشقون ڪرڻ لاءِ پڻ تمام آسان آهن، مناسب صفائي جي عمل سان، ان جي باقيات کي تمام گهٽ سطح تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو، جاپان ۽ ڪجهه گهريلو ٺاهيندڙ هن فارمولا سسٽم کي اپنائين ٿا، جڏهن ته، ان جي اعلي خام مال جي قيمت جي ڪري، ان جي قيمت جو فائدو واضح ناهي.

(2) گلو ۽ رال جو نسخو: هيرن جي تار ڪٽڻ جي عمل جي پوئين مرحلي ۾، ايندڙ آخر جي ويجهو سلڪون ويفر اڳ ۾ ئي ڪٽيو ويو آهي، آئوٽ ليٽ جي آخر ۾ سلڪون ويفر اڃا تائين ڪٽيو نه ويو آهي، شروعاتي ڪٽيل هيرن جي تار رٻڙ جي پرت ۽ رال پليٽ ڏانهن ڪٽڻ شروع ٿي وئي آهي، ڇاڪاڻ ته سلڪون راڊ گلو ۽ رال بورڊ ٻئي ايپوڪسي رال جون شيون آهن، ان جو نرم ڪرڻ جو نقطو بنيادي طور تي 55 ۽ 95 ℃ جي وچ ۾ آهي، جيڪڏهن رٻڙ جي پرت يا رال پليٽ جو نرم ڪرڻ جو نقطو گهٽ آهي، ته اهو ڪٽڻ جي عمل دوران آساني سان گرم ٿي سگهي ٿو ۽ ان کي نرم ۽ پگھلڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿو، اسٽيل جي تار ۽ سلڪون ويفر جي مٿاڇري سان ڳنڍيل، هيرن جي لڪير جي ڪٽڻ جي صلاحيت گهٽجي ويندي آهي، يا سلڪون ويفرز کي رال سان حاصل ڪيو ويندو آهي ۽ داغدار ڪيو ويندو آهي، هڪ ڀيرو ڳنڍڻ کان پوءِ، ان کي ڌوئڻ تمام ڏکيو آهي، اهڙي آلودگي گهڻو ڪري سلڪون ويفر جي ڪنڊ ڪنڊ جي ويجهو ٿيندي آهي.

(3) سلڪون پائوڊر: هيرن جي تار ڪٽڻ جي عمل ۾ گهڻو سلڪون پائوڊر پيدا ٿيندو، ڪٽڻ سان، مارٽر ڪولنٽ پائوڊر جو مواد وڌيڪ ۽ وڌيڪ ٿيندو، جڏهن پائوڊر ڪافي وڏو هوندو، سلڪون جي مٿاڇري سان لڳندو، ۽ سلڪون پائوڊر جي سائيز ۽ سائيز جي هيرن جي تار ڪٽڻ سان سلڪون جي مٿاڇري تي جذب ڪرڻ آسان ٿي ويندو، ان کي صاف ڪرڻ ڏکيو ٿي ويندو. تنهن ڪري، ڪولنٽ جي تازه ڪاري ۽ معيار کي يقيني بڻايو وڃي ۽ ڪولنٽ ۾ پاؤڊر جي مواد کي گهٽايو وڃي.

(4) صفائي ايجنٽ: هيرن جي تار ڪٽڻ واري ٺاهيندڙن جو موجوده استعمال گهڻو ڪري هڪ ئي وقت مارٽر ڪٽنگ استعمال ڪندو آهي، گهڻو ڪري مارٽر ڪٽڻ کان اڳ ڌوئڻ، صفائي جي عمل ۽ صفائي ايجنٽ وغيره استعمال ڪندو آهي، ڪٽڻ واري ميڪانيزم مان سنگل هيرن جي تار ڪٽڻ واري ٽيڪنالاجي، لائن جو هڪ مڪمل سيٽ ٺاهيندي آهي، ڪولنٽ ۽ مارٽر ڪٽڻ ۾ وڏو فرق هوندو آهي، تنهن ڪري لاڳاپيل صفائي جو عمل، صفائي ايجنٽ جي مقدار، فارمولا، وغيره هيرن جي تار ڪٽڻ لاءِ هجڻ گهرجي. صفائي ايجنٽ هڪ اهم پهلو آهي، اصل صفائي ايجنٽ فارمولا سرفيڪٽنٽ، الڪلينٽي هيرن جي تار ڪٽڻ واري سلڪون ويفر کي صاف ڪرڻ لاءِ مناسب ناهي، هيرن جي تار سلڪون ويفر جي مٿاڇري لاءِ هجڻ گهرجي، ٽارگيٽ ڪيل صفائي ايجنٽ جي ساخت ۽ مٿاڇري جي باقيات، ۽ صفائي جي عمل سان گڏ وٺو. جيئن مٿي ذڪر ڪيو ويو آهي، مارٽر ڪٽڻ ۾ ڊيفوامنگ ايجنٽ جي جوڙجڪ جي ضرورت ناهي.

(5) پاڻي: هيرن جي تار ڪٽڻ، اڳ ڌوئڻ ۽ صفائي ڪرڻ، اوور فلو پاڻي ۾ نجاست هوندي آهي، اهو سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي جذب ٿي سگهي ٿو.

مخمل وارن کي اڇا ڪرڻ جي مسئلي کي گهٽائڻ لاءِ تجويزون

(1) سٺي منتشر سان ڪولنٽ استعمال ڪرڻ لاءِ، ۽ ڪولنٽ کي سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي ڪولنٽ حصن جي باقيات کي گهٽائڻ لاءِ گهٽ-رهائشي ڊيفوامنگ ايجنٽ استعمال ڪرڻ جي ضرورت آهي؛

(2) سلڪون ويفر جي آلودگي کي گهٽائڻ لاءِ مناسب گلو ۽ رال پليٽ استعمال ڪريو؛

(3) ڪولنٽ کي خالص پاڻي سان ملائي ڇڏيو ويندو آهي ته جيئن اهو يقيني بڻائي سگهجي ته استعمال ٿيل پاڻي ۾ ڪا به آسان باقي نجاست نه رهي.

(4) هيرن جي تار ڪٽ سلڪون ويفر جي مٿاڇري لاءِ، سرگرمي ۽ صفائي جي اثر کان وڌيڪ مناسب صفائي ايجنٽ استعمال ڪريو؛

(5) ڪٽڻ جي عمل ۾ سلڪون پائوڊر جي مواد کي گهٽائڻ لاءِ ڊائمنڊ لائن ڪولنٽ آن لائن ریکوري سسٽم استعمال ڪريو، ته جيئن ويفر جي سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي سلڪون پائوڊر جي باقيات کي مؤثر طريقي سان ڪنٽرول ڪري سگهجي. ساڳئي وقت، اهو اڳ ڌوئڻ ۾ پاڻي جي گرمي پد، وهڪري ۽ وقت جي بهتري کي به وڌائي سگھي ٿو، انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته سلڪون پائوڊر وقت تي ڌوئي وڃي.

(6) هڪ ڀيرو سلڪون ويفر کي صفائي جي ميز تي رکيو وڃي، ان کي فوري طور تي علاج ڪيو وڃي، ۽ پوري صفائي جي عمل دوران سلڪون ويفر کي گندو رکيو وڃي.

(7) سلڪون ويفر ڊيگمنگ جي عمل ۾ مٿاڇري کي گندو رکي ٿو، ۽ قدرتي طور تي سڪي نٿو سگهي. (8) سلڪون ويفر جي صفائي جي عمل ۾، هوا ۾ ظاهر ٿيڻ جو وقت گهٽائي سگهجي ٿو ته جيئن سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي گلن جي پيداوار کي روڪي سگهجي.

(9) صفائي ڪندڙ عملو پوري صفائي جي عمل دوران سلڪون ويفر جي مٿاڇري سان سڌو رابطو نه ڪندو، ۽ انهن کي رٻڙ جا دستانا پائڻ گهرجن، ته جيئن فنگر پرنٽ پرنٽنگ پيدا نه ٿئي.

(10) حوالي ۾ [2]، بيٽري جو آخر 1:26 (3%NaOH محلول) جي مقدار جي تناسب مطابق هائيڊروجن پيرو آڪسائيڊ H2O2 + الڪلي NaOH صفائي جي عمل کي استعمال ڪري ٿو، جيڪو مسئلي جي واقعن کي مؤثر طريقي سان گهٽائي سگهي ٿو. ان جو اصول سيمي ڪنڊڪٽر سلڪون ويفر جي SC1 صفائي جي حل (عام طور تي مائع 1 جي نالي سان سڃاتو وڃي ٿو) سان ملندڙ جلندڙ آهي. ان جو مکيه طريقو: سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي آڪسائيڊيشن فلم H2O2 جي آڪسائيڊيشن سان ٺهيل آهي، جيڪا NaOH پاران خراب ٿئي ٿي، ۽ آڪسائيڊيشن ۽ سنکنرن بار بار ٿينديون آهن. تنهن ڪري، سلڪون پائوڊر، رال، ڌاتو، وغيره سان ڳنڍيل ذرات پڻ سنکنرن جي پرت سان صفائي جي مائع ۾ اچي ويندا آهن؛ H2O2 جي آڪسائيڊيشن جي ڪري، ويفر جي مٿاڇري تي نامياتي مادو CO2، H2O ۾ سڙي ويندو آهي ۽ هٽايو ويندو آهي. صفائي جي هن عمل کي سلڪون ويفر ٺاهيندڙ هن عمل کي استعمال ڪندي هيرا وائر ڪٽڻ جي مونوڪريسٽلين سلڪون ويفر، گهر ۾ سلڪون ويفر، سلڪون ويفر ۽ تائيوان ۽ ٻين بيٽري ٺاهيندڙن جي بيچ استعمال جي صفائي کي پروسيس ڪرڻ لاءِ استعمال ڪري رهيا آهن. بيٽري ٺاهيندڙن پڻ ساڳي طرح مخمل کان اڳ صفائي جي عمل کي استعمال ڪيو آهي، مخمل جي اڇي رنگ جي ظاهر کي مؤثر طريقي سان ڪنٽرول ڪن ٿا. اهو ڏسي سگهجي ٿو ته هي صفائي جو عمل سلڪون ويفر جي صفائي جي عمل ۾ شامل ڪيو ويو آهي ته جيئن سلڪون ويفر جي باقيات کي هٽايو وڃي ته جيئن بيٽري جي آخر ۾ اڇي وارن جي مسئلي کي مؤثر طريقي سان حل ڪري سگهجي.

نتيجو

هن وقت، سنگل ڪرسٽل ڪٽنگ جي ميدان ۾ هيرن جي تار جي ڪٽنگ مکيه پروسيسنگ ٽيڪنالاجي بڻجي چڪي آهي، پر مخمل کي اڇو ڪرڻ جي مسئلي کي فروغ ڏيڻ جي عمل ۾ سلڪون ويفر ۽ بيٽري ٺاهيندڙن کي پريشان ڪري رهيو آهي، جنهن جي ڪري بيٽري ٺاهيندڙن کي ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ سلڪون ويفر ۾ ڪجهه مزاحمت آهي. اڇي علائقي جي مقابلي جي تجزيي ذريعي، اهو بنيادي طور تي سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي باقيات جي ڪري ٿئي ٿو. سيل ۾ سلڪون ويفر جي مسئلي کي بهتر طور تي روڪڻ لاءِ، هي پيپر سلڪون ويفر جي مٿاڇري جي آلودگي جي ممڪن ذريعن جو تجزيو ڪري ٿو، انهي سان گڏ پيداوار ۾ بهتري جي تجويزن ۽ قدمن جو تجزيو ڪري ٿو. اڇي داغن جي تعداد، علائقي ۽ شڪل جي مطابق، سببن جو تجزيو ۽ بهتري ڪري سگهجي ٿي. خاص طور تي هائيڊروجن پيرو آڪسائيڊ + الڪلي صفائي جي عمل کي استعمال ڪرڻ جي سفارش ڪئي وئي آهي. ڪامياب تجربي ثابت ڪيو آهي ته اهو عام صنعت جي اندروني ۽ ٺاهيندڙن جي حوالي لاءِ، هيرن جي تار جي ڪٽڻ سلڪون ويفر ٺاهڻ جي مخمل کي اڇو ڪرڻ جي مسئلي کي مؤثر طريقي سان روڪي سگهي ٿو.